http://infra-quartz-heat.com/de/tags/backen/ Recent content in Backen on Infrared Quartz Heat Solutions Hugo de Thu, 25 Jun 2026 05:15:02 +0800 http://infra-quartz-heat.com/de/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Thu, 25 Jun 2026 05:15:02 +0800 http://infra-quartz-heat.com/de/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://infra-quartz-heat.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Heizgerät für die Nachbehandlung nach der Bestrahlung (PEB)"></p> <p>Auf der Lithografieebene führt ein Temperaturfehler beim PEB-Prozess schnell zu Abweichungen in der CD-Struktur sowie zu Ungenauigkeiten bei der Aufbringung des Fotolacks. Schon eine Uneinheitlichkeit von 1°C über die gesamte Waferfläche reicht aus, um die Profile des Fotolacks außerhalb der geforderten <a href="https://henruite.com">Normen</a> zu bringen – und das bedeutet Stunden an Arbeit, die verschwendet werden müssen. Wir haben unsere Heizelemente für den PEB-Prozess so konstruiert, dass die <a href="https://o-yate.net">Temperatur</a> innerhalb des gewü<a href="https://goldisgood.com">nschten</a> Bereichs bleibt – Lot für Lot.</p>