Wafle on Infrared Quartz Heat Solutions

Halogenový IR vysílač pro sušení destiček

Fri, 03 Jul 2026 15:32:00 +0800

V provozu výroby může jediná chyba zničit celou série výrobků. Tradiční metody sušení představují velké riziko – na jedné straně je to tepelné napětí, na druhé straně kontaminace částicemi. V litografii si nemůžeme dovolit žádné odchylky: odchylka o 0,5 °C během zpracování fotorezistoru může narušit kritické rozměry výrobku. Vyvinuli jsme halogenový IR emitor určený k sušení destiček, abychom tuto variabilitu eliminovali.

Co je technicky důležité
Uvnitř křemenného obalu se nachází halogenová lampa s krátkým vlnovým dosahem, která vysílá infračervené záření s odpovídající rychlostí. Udržujeme rovnoměrnou teplotu v cílové oblasti v rozmezí ±0,1 °C. Kontrola v uzavřeném okruhu zajišťuje opakovatelnost procesu. Systém funguje bez jakýchkoliv částic ve čistých místnostech třídy 1–100. Tepelný profil zůstává stabilní – respektuje teplotní limity destičky při současném odstranění vlhkosti bez efektu „kůže“.

Zónové vytápění pro pokročilé výrobní zařízení na polovodičové desky

Thu, 02 Jul 2026 09:40:56 +0800

V provozu výroby stačí změna teploty o 1 °C během procesu měkkého zahřívání fotorezistoru k tomu, aby došlo ke změnám kritických rozměrů čipů a bylo nutné zahodit spoustu destiček. Konvenční pece zahřívají celou komoru, ne samotnou destičku. My jsme vytvořili systém zónového zahřívání, který umožňuje přivést teplo přímo na destičku – přičemž se zachovává teplotní rozsah potřebný pro každou vrstvu na destičce.

Co je z technického hlediska důležité
Naše zónové infračervené moduly zajišťují rovnoměrnost teploty na úrovni destičky v rozsahu ±0,1 °C v celé aktivní zóně. Opakovatelnost hodnot teploty zůstává v rozsahu ±0,5 °C po tisících cyklůch. Krátkovlnné emitory umožňují rychlé dosažení požadovaných teplot během procesů měkkého a tvrdého zahřívání. Konstrukce bez uhlíkových vláken snižuje množství částic v prostředích typu Class 1–100. Systém funguje 24/7 s funkcí prediktivní kompenzace teplotních odchylek, což zajišťuje stabilitu výstupní teploty i po více než 5 000 hodinách provozu.

Zahřívač sondy polovodičové desky

Fri, 26 Jun 2026 05:39:51 +0800

V provozním prostoru je sonda pod mikroskopem a čeká na spuštění další série výroby. Pokud se teplota desky pohne byť jen o zlomek stupně, parametry začnou selhávat a kvalita výrobku se zhoršuje. Tento ohřívač sondy byl navržen právě proto, aby zabránil takovému posunu teploty – přímo tam, kde sonda přichází do kontaktu s deskou.

Co je při testování opravdu důležité
Daný přístroj využívá krátkovlnné infračervené elementy, které přivádějí teplo do kvartového termálního kanálu. Tento systém umožňuje rychlou reakci a nízkou termickou setrvačnost. Na úrovni desky zůstává jednotnost teploty v rozmezí ±0,1 °C. Opakovatelnost výsledků je vysoká, protože řídicí smyčka funguje přímo u samotné desky, nikoliv u těla ohřívače. Přístroj lze integrovat do standardních zařízení na testování, přičemž horká oblast je izolovaná, takže pohyb mechanismů nezpůsobuje šíření částic. Díky uzavřeným materiálům a průtoku vzduchu mimo prostor testování může být přístroj používán v čistých prostorách třídy 1–100.

Cena trubicové žárovky pro ohřev infračerveným zářením

Tue, 23 Jun 2026 01:06:02 +0800

V výrobní hale má každá destička svůj termální rozpočet, který není možné překročit. I nepatrné změny teploty mohou vést k odchylkám v tloušťce vrstvy na destičce, ke vzniku nežádoucích útvarů na povrchu destičky a ke snížení úrovně kvality výrobku. Cena infračervené lampy na zahřev destiček není jen částkou uvedenou v objednávce – jde o náklady spojené s udržováním stability procesu.

Co je technicky důležité
Naše infračervené lampy zachovávají termální jednotnost na úrovni pod milimetr v rámci plochy destičky. V průběhu výrobního procesu udržujeme odchylky teploty v rozmezí ±0,1 °C. Tuto přesnost dosahujeme tím, že přizpůsobíme spektrum infračerveného záření absorpci fotorezisty. Díky tomu dochází k rychlému zahřátí bez kontaktu s destičkou, přičemž lze nastavit konstantní rychlost zahřívání. Systém je určen k použití v čistých prostorách od třídy 1 do třídy 100. Během provozu nevytváří žádné částice. Spolehlivost systému je potvrzena dlouhodobým provozem – jednotky mohou pracovat více než 5 000 hodin s poklesem výkonu menším než 5 %. To znamená méně neplánovaných přestávek a méně výměn lamp.