http://infra-quartz-heat.com/cs/tags/process/ Recent content in Process on Infrared Quartz Heat Solutions Hugo cs Wed, 03 Jun 2026 10:18:34 +0800 http://infra-quartz-heat.com/cs/posts/ashing-process-heating-infrared/ Wed, 03 Jun 2026 10:18:34 +0800 http://infra-quartz-heat.com/cs/posts/ashing-process-heating-infrared/ <p><img src="http://infra-quartz-heat.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Proces žíhání infračerveným zářením"></p> <p>Na výrobní podlaze není <a href="https://o-yate.net">ashing</a> možný jako volitelný krok – je to <a href="https://o-yate.com">tepeln</a>ý proces, který čistě odstraní <a href="https://henruite.com">photoresist</a>, aniž by poškodil vrstvy pod ním. Pokud teplota kolísá nebo profil klesá, vznikají rezidua. Výtěžnost linky tím utrpí a lithografický stack to odnáší.</p> <p><strong>Co je klíčové pod povrchem</strong><br> Ashingový topný prvek jsme navrhli kolem krátkovlnného infračerveného záření, využívajícího pole křemenných halogenových zářičů s rychlou a opakovatelnou odezvou. Výsledkem je uniformita teploty na úrovni waferu v rozmezí ±0,1°C v rámci pečící zóny a kontrola teploty, která udržuje nastavenou hodnotu po celou dobu stripovacího cyklu. Systém pracuje v čistých prostorách třídy 1–100 bez generování částic, což je ověřeno in-situ monitorováním. Zajišťuje stabilní výkon přes 5 000 hodin provozu s méně než 5% odchylkou intenzity.</p>