http://infra-quartz-heat.com/cs/tags/pokro%C4%8Dil%C3%A9/ Recent content in Pokročilé on Infrared Quartz Heat Solutions Hugo cs Thu, 02 Jul 2026 09:40:56 +0800 http://infra-quartz-heat.com/cs/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ Thu, 02 Jul 2026 09:40:56 +0800 http://infra-quartz-heat.com/cs/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ <p><img src="http://infra-quartz-heat.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Zónové vytápění pro pokročilé výrobní zařízení na polovodičové desky"></p> <p>V provozu výroby stačí změna teploty o 1 °C během procesu měkkého zahřívání fotorezistoru k tomu, aby došlo ke změnám kritických rozměrů čipů a bylo nutné zahodit spoustu destiček. Konvenční pece zahřívají celou komoru, ne samotnou destičku. My jsme vytvořili systém zónového zahřívání, který umožňuje přivést teplo přímo na destičku – přičemž se zachovává teplotní rozsah potřebný pro každou <a href="https://henruite.com">vrstvu</a> na destičce.</p> <p><strong>Co je z technického hlediska důležité</strong><br> Naše zónové infračervené moduly zajišťují rovnoměrnost teploty na úrovni destičky v rozsahu ±0,1 °C v celé aktivní zóně. Opakovatelnost hodnot teploty zůstává v rozsahu ±0,5 °C po tisících cyklůch. Krátkovlnné emitory umožňují rychlé dosažení požadovaných teplot během procesů měkkého a tvrdého zahřívání. Konstrukce bez uhlíkových vláken snižuje množství částic v prostředích typu Class 1–100. Systém funguje 24/7 s funkcí prediktivní kompenzace teplotních odchylek, což zajišťuje stabilitu výstupní teploty i po více než 5 000 hodinách provozu.</p>