http://infra-quartz-heat.com/cs/tags/emitor/ Recent content in Emitor on Infrared Quartz Heat Solutions Hugo cs Fri, 03 Jul 2026 15:32:00 +0800 http://infra-quartz-heat.com/cs/posts/halogen-ir-emitter-for-wafer-drying/ Fri, 03 Jul 2026 15:32:00 +0800 http://infra-quartz-heat.com/cs/posts/halogen-ir-emitter-for-wafer-drying/ <p><img src="http://infra-quartz-heat.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Halogenový IR vysílač pro sušení destiček"></p> <p>V provozu výroby může jediná chyba zničit celou série výrobků. Tradiční metody sušení představují velké riziko – na jedné straně je to tepelné napětí, na druhé straně kontaminace částicemi. V litografii si nemůžeme dovolit žádné odchylky: odchylka o 0,5 °C během zpracování fotorezistoru může narušit kritické rozměry výrobku. Vyvinuli jsme halogenový IR emitor určený k sušení destiček, abychom tuto variabilitu eliminovali.</p> <p><strong>Co je technicky důležité</strong><br> Uvnitř křemenného obalu se nachází halogenová lampa s krátkým vlnovým dosahem, která vysílá infračervené záření s odpovídající rychlostí. Udržujeme rovnoměrnou teplotu v cílové oblasti v rozmezí ±0,1 °C. Kontrola v uzavřeném okruhu zajišťuje opakovatelnost procesu. Systém funguje bez jakýchkoliv částic ve čistých místnostech třídy 1–100. Tepelný profil zůstává stabilní – respektuje teplotní limity destičky při současném odstranění vlhkosti bez efektu „kůže“.</p>