http://infra-quartz-heat.com/bn/tags/bake/ Recent content in Bake on Infrared Quartz Heat Solutions Hugo bn Thu, 25 Jun 2026 05:15:02 +0800 http://infra-quartz-heat.com/bn/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Thu, 25 Jun 2026 05:15:02 +0800 http://infra-quartz-heat.com/bn/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://infra-quartz-heat.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="পোস্ট এক্সপোজার বেক (PEB) হিটার"></p> <p>লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, PEB-এর তাপমাত্রা সংক্রান্ত ত্রুটিগুলো সিডি-এর মানে পরিবর্তন এবং ওভারলে ড্রিফটের কারণ হয়। ওয়েফারের উপরিভাগে ১°C এর মতো তাপমাত্রা পার্থক্যই ফটোরেজিস্টের গুণমানকে নিয়ন্ত্রণের বাইরে নিয়ে যায়; ফলে ঘণ্টার পর ঘণ্টা ধরে কাজ নষ্ট হয়ে যায়। আমরা প্রক্রিয়াটিকে নিয়ন্ত্রণে রাখার জন্য PEB হিটারগুলো ব্যবহার করি।</p> <p><strong>কী গুরুত্বপূর্ণ?</strong><br> আমরা কোয়ার্টজ উইন্ডোর পিছনে শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড (SWIR) হ্যালোজেন উপাদানগুলো ব্যবহার করি; এর ফলে দ্রুত ও সরাসরি তাপ সরবরাহ হয়। ওয়েফারের উপরিভাগে তাপমাত্রা ±০.১°C এর মধ্যে থাকে; আর পুনরাবৃত্তির হার মিলিসেকেন্ডের মধ্যে থাকে। ফলে প্রথম লট ও ১০০০তম লটেও একই তাপমাত্রা বজায় থাকে। এই মডিউলটি ক্লাস ১–১০০-এর জন্য উপযুক্ত; এতে কম গ্যাস নির্গমন হয়, আর কণাগুলোও নিয়ন্ত্রণে থাকে। বেকিং প্রক্রিয়ায় কোনো কণা উৎপন্ন হয় না—এটা টুলের ইন্টারফেসে কণা-নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থার মাধ্যমে নিশ্চিত করা হয়।</p>