ويفر on Infrared Quartz Heat Solutions

مصدر أشعة تحت الحمراء هالوجيني لتجفيف الرقائق

Fri, 03 Jul 2026 15:32:00 +0800

في غرفة التصنيع، يمكن لوجود بقعة واحدة على الرقاقة أن يدمر كامل الدفعة المنتجة. تعتبر الطرق التقليدية للتجفيف خطيرة للغاية؛ فهناك ضغوط حرارية من جهة، وتلوث بالجسيمات من جهة أخرى. وفي عملية الطباعة بالليثوغرافيا، لا يمكن التسامح مع أي أخطاء؛ فأي انحراف بمقدار 0.5 درجة مئوية أثناء عملية معالجة الرقاقة قد يؤدي إلى فشل العملية بأكملها. لذلك، قمنا بتطوير جهاز إصدار الأشعة تحت الحمراء من نوع الهالوجين لتجفيف الرقاقات، وذلك للقضاء على هذه المشاكل.

نظام تدفئة مُنظّم لمصانع الرقائق المتقدمة

Thu, 02 Jul 2026 09:40:56 +0800

في قاعة التصنيع، يكفي حدوث تغير بمقدار 1 درجة مئوية أثناء عملية التسخين اللطيف للمواد الفوتورزيستية لكي يؤثر ذلك على الأبعاد الحرجة للرقائق، مما يؤدي إلى هدر كميات كبيرة من الرقائق. التسخينات التقليدية تُسخّن الغرفة فقط، وليس الرقائق نفسها. لذلك، قمنا بتصميم نظام تسخين موزع لإيصال الحرارة إلى المكان المناسب، أي مباشرة على الرقائق، مع الحفاظ في الوقت نفسه على الإطار الحراري المطلوب لكل نوع من الرقائق.

ما الذي يهم من الناحية الفنية؟ تضمن وحدات التسخين بالأشعة تحت الحمراء التي صممناها توزيعًا متساويًا للحرارة على الرقائق بدقة تصل إلى ±0.1 درجة مئوية في المنطقة الفعالة، كما أن دقة التحكم في درجة الحرارة تظل ضمن نطاق ±0.5 درجة مئوية حتى بعد آلاف الدورات. أما المصابيح ذات الموجات القصيرة، فهي تساعد في تسريع عملية التسخين، كما أن التصميم الخالي من الألياف الكربونية يساعد في خفض عدد الجسيمات في البيئات التي تتطلب ذلك، مثل البيئات من الفئة 1-100. يعمل النظام على مدار 24 ساعة في اليوم، مع تعويض التغيرات الحرارية، مما يضمن استقرار الأداء لأكثر من 5,000 ساعة.

تكلفة مصباح سخان الرقاقات بالأشعة تحت الحمراء

Tue, 23 Jun 2026 01:06:02 +0800

في قاعة التصنيع، لكل رقاقة حد معين من الطاقة الحرارية التي يمكن استخدامها، ولا يمكن تجاوز هذا الحد. أي انحراف في درجة الحرارة، حتى ولو كان ضئيلاً، قد يؤدي إلى تغيرات في عرض خطوط الرقاقة، بالإضافة إلى انخفاض جودة الرقاقات. تكلفة مصباح التسخين بالأشعة تحت الحمراء ليست مجرد التكلفة المذكورة في الفاتورة، بل هي أيضًا تكلفة الحفاظ على استقرار عملية التصنيع.

ما الذي يهم من الناحية التقنية؟ مصابيح التسخين بالأشعة تحت الحمراء تضمن توزيعًا متساويًا للحرارة على سطح الرقاقة، بدقة تصل إلى مستوى أقل من ملليمتر واحد. وفي عملية التسخين، نحافظ على تغيرات درجة الحرارة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية. يتم تحقيق هذه الدقة من خلال مطابقة طيف الأشعة تحت الحمراء مع قدرة المادة المستخدمة في عملية التصنيع على امتصاص الطاقة، مما يسمح بالتسخين السريع وبدون اتصال مباشر، مع معدلات تسخين متكررة. يتم تصميم النظام للاستخدام في الغرف النظيفة من الدرجة 1 إلى الدرجة 100، ولا ينتج النظام أي جسيمات أثناء التشغيل. وقد تم إثبات موثوقية النظام في العمل المستمر، حيث يمكن للوحدات العمل لأكثر من 5,000 ساعة دون أن يقل الإنتاج بأكثر من 5%، مما يعني تقليل عدد التوقفات غير المخطط لها وتقليل عدد أجهزة التسخين المطلوبة.