
Контроль температури у „розумній“ фабриці
Створення „розумної“ фабрики – це не просто розміщення кількох датчиків на обладнанні та сподівання на краще. Йдеться про зміну підходу до контролю температури.
Для обробки пластин ми використовуємо безконтактні інфрачервоні системи. Перевагою таких систем є те, що вони не торкаються самої пластини. Відсутність контакту означає відсутність загрози забруднення. Крім того, не потрібно хвилюватися про те, що датчик може вплинути на температуру пластини. Він просто спостерігає за нею здалеку.
Цифровий аналіз температури
Система інфрачервоного спостереження фіксує випромінювання, яке випромінює поверхня пластини. У сучасних системах ця первинна теплова енергія перетворюється на потік даних, який може бути зрозумілий системам PLC чи SCADA.
Усе відбувається дуже швидко – лише за кілька мілісекунд. Можна миттєво виявити „гарячі точки“ на поверхні 300-міліметрової пластини. Якщо температуру підвищувати занадто стрімко, можна одразу побачити зміни в температурному профілі. Це дає можливість скоригувати параметри живлення та зробити температурний профіл більш рівним, перш ніж пластина почне деформуватися. Це справжній приріст ефективності.
Замкнений цикл контролю
„Розумна“ фабрика функціонує завдяки замкнутому циклу контролю. Інфрачервоні датчики підключаються безпосередньо до логіки керування обладнанням. Система контролює температуру поверхні, порівнює її з потрібним значенням та коригує параметри нагріву в реальному часі. Більше немає потреби у припущеннях. У результаті у вас є цифрова копія всього теплового процесу; кожна пластина має свою карту температур, яка готова до перевірки якості.
Недоліки (Адже ніщо не є ідеальним)
Проте точність контролю має свої недоліки. Інфрачервоні датчики чутливі до емісії поверхні. Якщо змінити покриття пластини чи матеріал, значення емісії зміняться. Якщо не провести калібрування, можна побачити „фальшиві“ значення температури. Крім того, оптичне скло між датчиком та пластиною має залишатися чистим. Якщо на цьому склі накопичуються продукти обробки, це може перешкоджати передачі сигналу. Тоді дані стають неточними, і доводиться починати все знову.