На виробничому майданчику лінія драйверів дисплеїв IC не терпить теплового дрейфу. Сушка пластин після очищення, м’який та жорсткий запікання фотошаблону перед літографією, а також затвердіння пакету після інкапсуляції — усе зводиться до одного: повторюваної температури кожного циклу. Якщо нагрівач збивається з темпу, вихідний вихід лінії падає, а концентрація часток зростає.
Технічне значення
Ми побудували нагрівач для обробки драйверів дисплеїв IC із суворим контролем температури. Він утримує рівномірність по поверхні пластини в межах ±0.1°C у робочій зоні, тому фотошаблон отримує однаковий профіль запікання від партії до партії. Пристрій сумісний із чистими кімнатами класу від 1 до 100 і не додає часток під час роботи. Повторюваність не є додатковою функцією — вона закладена в контур керування та геометрію гарячої зони.
Ось чому він справляється на практиці. Під час сушки пластин нагрівач видаляє вологу без перевищення температури, що запобігає пошкодженню чутливих металевих шарів. Під час запікання фотошаблону така стабільність утримує критичні розміри в межах специфікацій і зменшує кількість переділу. Під час затвердіння пакету термічний профіль повторюється з мінімальними коливаннями, що покращує адгезію та надійність. Результат — менше браку, стабільні цикли та прогнозоване енергоспоживання.
Кілька практичних зауважень. Нагрівач інтегрується без проблем, але гаряча зона потребує ретельного планування зазору навколо траєкторії пластини. Під час початкової кваліфікації очікується коротке вікно розігріву для настройки рецепту під вашу стеку матеріалів. Після налаштування процес фіксується, проте вирівнювання хендлера та система відведення витяжки мають залишатися незмінними для підтримання низького рівня часток.