Boş alanı ısıtmayı bırakın: Neden vakumlu IR teknolojisi en iyi çözümdür?
Eğer yarı iletkenlerin derin işlenmesi konusunda çalışıyorsanız, muhtemelen odanın doğru sıcaklığa ulaşmasını beklerken çok zaman harcamışsınızdır. Çoğu kişi standart yöntem olan sıcak hava dolaşımını kullanır. Ancak burada bir sorun var: Zorunlu konveksiyon yavaştır. Aslında siz sadece havayı ısıtıyorsunuz ve ardından o havanın wafer’i ısıtmasını bekliyorsunuz.
Vakum ortamında bu durum tamamen zaman kaybıdır.
İşte bu yüzden vakumlu IR lambalarını kullanıyoruz. Bu lambalar, ara bir madde kullanmak yerine elektromanyetik radyasyon kullanarak doğrudan wafer yüzeyine etki eder. Bu sayede enerji daha verimli şekilde kullanılır.
Beklemenin gerçek maliyeti
Bir an için fizik kurallarını düşünün. Sıcak hava kullanıldığında, odanın belirli bir sıcaklığa ulaşması için zaman gereklidir. Ancak IR teknolojisinde enerji aktarımı neredeyse anında gerçekleşir. Bu küçük bir detay gibi görünse de, yüksek kapasiteli üretim hatlarında her döngüde tasarruf edilen birkaç dakika bile önemlidir. Ayda binlerce waferin işlenmesi mümkün olur. Bu da firmanız için büyük bir avantaj demektir.
Vakum ortamında temizliği sağlamak
Vakum ortamında işlem yapmak bazı zorluklar getirir. Lambanın soğutulması için sadece fan kullanılamaz. Bu sorunu çözmek için özel kuvars malzemeler kullanılır. Böylece waferler kirlenmeden korunur. Ayrıca, küçük bir alanda çok yüksek ısı yoğunluğu elde edilir. Böylece tüm odayı ısıtmak zorunda kalmadan yalnızca belirli bölgeler ısıtılabilir.
Eksiklikler
Ancak her şey mükemmel değil. Yüksek yoğunluktaki IR ışınları oldukça zararlıdır. Güç kaynağı üzerinde büyük bir yük oluşturur ve son derece hassas bir PID kontrol sistemi gerektirir. Eğer sensörler biraz bile hata yaparsa, hedef sıcaklığın üzerine çıkılabilir ve wafer zarar görebilir. Bu yüzden ısının hızına uyum sağlayabilecek bir geri bildirim sistemi gereklidir.
Ancak bunları doğru şekilde ayarladığınızda, odadaki boş alanlara enerji harcamaktan vazgeçip enerjiyi doğru yere, yani parçanın üzerine yönlendirebilirsiniz.