На производственной линии достаточно изменения температуры на 1°C во время процедуры нагрева фотополимера, чтобы это повлияло на критические размеры деталей, изготавливаемых с помощью этого материала, что приводит к полной потере большого количества пластин. В обычных печах нагревается сама камера, а не сама пластина. Мы разработали систему зонового нагрева, которая позволяет направлять тепло именно на пластину, при этом соблюдается температурный режим, необходимый для обработки каждого слоя материала.
Что имеет значение с технической точки зрения
Наша система зонового инфракрасного нагрева обеспечивает единообразие температуры на поверхности пластины в пределах ±0,1°C в активной зоне. Повторяемость значения температуры остается в пределах ±0,5°C даже после тысяч циклов работы. Устройства коротковолнового излучения позволяют быстро достигать желаемой температуры для процедур нагрева. Без использования углеродных волокон снижается количество частиц в окружающей среде — до уровня класса 1–100. Система работает круглосуточно, с возможностью коррекции температурных отклонений, что обеспечивает стабильную работу даже после 5 000 часов эксплуатации.
Эта система эффективна в литографических линиях, так как позволяет более точно контролировать размеры деталей и сокращать количество необходимых переработок. Для сушки пластин и удаления крайних слоев материала зоновый нагрев ускоряет испарение растворителя, не повреждая при этом саму пластину. Это позволяет повысить производительность и снизить энергопотребление.
Профили нагрева фотополимера остаются стабильными от партии к партии, что снижает вариабельность между различными устройствами. Это позволяет восстановить контроль над процессом и избавиться от необходимости постоянной настройки параметров процесса для компенсации температурных отклонений.
Практические детали
Система зонового нагрева должна быть тесно интегрирована с устройствами для нанесения слоев материала или платформой для нагрева. Зоны нагрева должны синхронизироваться с движением устройства для вращения пластины. Можно провести модификации, но необходимо учитывать механические характеристики оборудования и расположение систем охлаждения. Также необходимо учитывать требования к чистоте воздуха и защите от электромагнитных помех, особенно рядом с оборудованием, чувствительным к таким помехам. Результаты использования этой системы становятся заметными сразу, когда температурные параметры перестают быть фактором, влияющим на качество продукции.