На этапе литографии ошибка температуры PEB приводит к отклонениям в размерах элементов печатной платы и к смещению их расположения. Недостаточно даже 1°C неоднородности по поверхности пластины, чтобы профили фотополимера вышли за пределы допустимых значений, что влечет за собой потерю времени на обработку. Мы разработали специальные нагреватели для поддержания оптимальной температуры в процессе производства, чтобы такой профиль сохранялся при обработке каждой партии продукции.
Что имеет значение на практике Мы используем галогеновые элементы с коротковолновым инфракрасным излучением, расположенные за кварцевым стеклом. Это позволяет достичь быстрого нагрева и мгновенной реакции. Равномерность температуры по всей поверхности пластины составляет ±0,1°C, а точность повторяемости процедур — в рамках нескольких миллисекунд. Таким образом, одинаковые условия обработки сохраняются как при обработке первой, так и последней партии продукции. Устройство соответствует требованиям чистых помещений класса 1–100: материалы, используемые в устройстве, имеют низкий уровень выделения газов, а путь движения частиц контролируется. Отсутствие образования частиц во время нагрева — не просто заявленное качество, но и результат постоянного контроля на уровне самого оборудования.
Почему это важно при обработке фотополимеров Этап PEB находится между этапами экспозиции и процесса обработки. Именно на этом этапе завершается химическое усиление изображения, и определяется ширина линий на пластине. Наши нагреватели помогают поддерживать стабильные условия на этом этапе, что снижает отклонения в размерах элементов печатной платы и связанные с этим задержки в производстве. Одна и та же система может использоваться как для мягкого, так и для жесткого нагрева; профили нагрева можно настраивать так, чтобы сократить время обработки без потери контроля над параметрами процесса. Кроме того, поскольку SWIR-излучение нагревает пластину напрямую, а не стены камеры, потребление энергии снижается.
Несколько практических рекомендаций При установке необходимо учитывать размеры камеры и интерфейсы оборудования. Перед началом работы необходимо проверить механическую конструкцию, каналы охлаждения и электрические соединения. SWIR обеспечивает быструю реакцию, но необходимо контролировать оптическое выравнивание и чистоту стекла, чтобы сохранить равномерность температуры. Необходимо регулярно проводить проверки стекла и заменять лампы, чтобы температурный профиль оставался стабильным в течение длительного времени производства.