Pare de desperdiçar tempo com tempos de aquecimento lentos
Sejamos honestos: a convecção forçada pelo ar é um obstáculo. Na verdade, você está apenas aquecendo o ar, para que ele, por sua vez, aqueça o substrato. No mundo do processamento avançado de semicondutores, esse atraso é um “assassino silencioso”: ele diminui a produtividade e desperdiça horas de tempo de produção.
Resolvemos isso eliminando o intermediário. Passamos a usar lâmpadas infravermelhas sem ozônio.
Como funciona na prática
Em vez de esperar pela circulação do ar, as lâmpadas infravermelhas utilizam ondas eletromagnéticas. O calor atinge diretamente o alvo desejado.
Você pode se preocupar com contaminação. É por isso que usamos revestimentos de quartzo sem ozônio. Isso mantém o espectro de luz limpo, evitando que o ozônio estrague a sala limpa ou danifique os waferes.
O resultado? O tempo de aquecimento é quase instantâneo. Estamos falando de ciclos de aquecimento que passam de minutos para ** segundos**.
Mais calor, menos espaço
Essas lâmpadas geram muito calor em um espaço pequeno. Se você trabalha em câmaras pequenas, onde um ventilador grande ou tubulações complicadas não cabem, essa é a solução ideal.
Além disso, como o calor é direcionado, você controla exatamente para onde vai a energia. Não há necessidade de aquecer toda a máquina, correndo o risco de superaquecimento do chassi. É uma solução precisa.
Uma coisa a ter em mente
A desvantagem é que a radiação direta pode ser intensa.
Você economizará muito tempo no processo de aquecimento, mas, como a densidade de energia é alta, é preciso garantir um bom sistema de resfriamento durante o ciclo de desligamento. Se o resfriamento não for adequado, há risco de superaquecimento do substrato. É um trade-off, mas algo viável de gerenciar.
Por que trocar?
A maioria das fábricas que buscam maior precisão e volume de produção já fez essa alteração.
É uma substituição simples para os sistemas de aquecimento tradicionais. Você deixa de lidar com correntes de ar imprevisíveis e passa a controlar os fótons.
No final das contas, isso significa mais waferes sendo processados a cada turno. Simples assim.