Na stanowisku litograficznym błąd temperatury PEB jest przyczyną szybkich odchyleń w parametrach CD oraz dewiacji w rozkładzie temperatury na powierzchni płytki. Nierównomierność temperatury o 1°C wystarczy, by profile fotorezystu wykraczały poza dopuszczalne normy, co skutkuje marnowaniem godzin pracy. Stworzyliśmy specjalne grzałki do procesu PEB, aby utrzymać temperaturę w wymaganym przedziale, zarówno przy jednej partii produktów, jak i przy setkach partii.
Co jest istotne w tym procesie Używamy halogenowych elementów emitujących krótkofalowe promieniowanie podczerwone za szybą kwarcową – to zapewnia szybkie i precyzyjne nagrzewanie. Równomierność temperatury na powierzchni płytki wynosi ±0,1°C, a powtarzalność procesu mieści się w granicach kilku milisekund. Dzięki temu ten sam profil termiczny jest zachowany zarówno w pierwszej, jak i w ostatniej partii produktów. Moduł nadaje się do używania w środowiskach klasy 1–100, dzięki materiałom o niskiej emisji gazów oraz systemowi kontroli cząstek. Brak generowania cząstek podczas procesu nagrzewania nie jest tylko deklarowanym efektem – jest to potwierdzone poprzez monitorowanie cząstek bezpośrednio na interfejsie urządzenia.
Dlaczego to jest ważne w obróbce fotorezystu Krok PEB znajduje się pomiędzy etapem ekspozycji a wywoływaniem. To właśnie w tym momencie kończy się proces chemicznego powiększania obrazu, a szerokość linii na powierzchni płytki zostaje ustalona. Nasze grzałki zapewniają stabilność tego procesu, co zmniejsza odchylenia w parametrach CD oraz konieczność ponownej obróbki. Ta sama platforma umożliwia realizację różnych procedur nagrzewania, z możliwością regulacji tempa nagrzewania i czasu trwania procesu, co skraca czas cyklu bez utraty kontroli nad parametrami. Ponadto, ponieważ krótkofalowe promieniowanie podczerwone nagrzewa bezpośrednio płytkę, a nie ściany komory, zużycie energii jest znacznie mniejsze.
Kilka praktycznych uwag Instalacja polega na dopasowaniu rozmiarów komory oraz interfejsu urządzenia. Przed integracją należy sprawdzić wymiary mechaniczne, linie chłodzące oraz parametry elektryczne. Krótkofalowe promieniowanie podczerwone zapewnia szybkie nagrzewanie, ale należy dbać o właściwe ustawienie optyczne oraz czystość szyby, aby zachować równomierność temperatury. Konieczne jest regularne sprawdzanie szyby oraz wymiana żarówek, aby profil termiczny pozostał niezmieniony przez cały okres produkcji.