Emettitore IR a halogene per l essiccazione dei wafer
Nella sala di produzione, anche una singola imperfezione può rovinare l’intera serie di wafer prodotti. I metodi tradizionali di essiccazione...
Riscaldamento zonato per fabbriche di wafer avanzate
Nelle linee di litografia, una variazione di temperatura di 1°C durante il processo di essiccazione del fotoresist è sufficiente per compromettere le...
Riscaldatore per sonda di wafer semiconduttori
Nel reparto di produzione, la scheda di prova si trova sotto il microscopio, pronta per essere utilizzata con il prossimo lotto di wafer. Se la...
Costo della lampada riscaldatrice a wafer infrarosso
Nella sala di produzione, ogni wafer ha un “budget termico” preciso, che non può essere superato. Anche una piccolissima variazione di temperatura...