Come mantenere pulita una sala pulita di Classe 100
Se avete mai provato a utilizzare lampade a infrarossi standard in una sala pulita di Classe 100, conoscete bene i problemi che ne derivano. La maggior parte delle lampade è tenuta insieme da adesivi o metalli di scarsa qualità, i quali non riescono a resistere al calore. Non appena le lampade si riscaldano, iniziano a rilasciare gas o frammenti di materiale che possono danneggiare i componenti ottici presenti nella sala pulita.
In un ambiente in cui anche solo una piccola particella di polvere può rovinare l’intera produzione di wafer, questo rappresenta davvero un incubo.
Abbiamo risolto questo problema eliminando quei materiali scadenti. Utilizziamo invece quarzo sintetico di alta purezza e terminali in ceramica specializzati.
Perché il sigillo è il punto critico
La maggior parte delle contaminazioni nasce proprio dal sigillo tra i vari componenti della lampada. Invece dei tradizionali terminali in metallo, utilizziamo terminali in ceramica ad alta densità. Il vantaggio è che questi terminali non rilasciano alcun tipo di gas o particelle quando raggiungono la temperatura massima.
Inoltre, puliamo attentamente il tubo di quarzo per eliminare eventuali impurità metalliche. In questo modo si evita quel fastidioso effetto di formazione di polvere che si verifica con le lampade di scarsa qualità: in tal caso, la superficie del vetro si degrada e i componenti ottici vengono ricoperti di microparticelle.
Scegliere i materiali giusti
Abbiamo optato per un rivestimento in quarzo fuso, poiché non si danneggia nemmeno quando la temperatura aumenta drasticamente. Inoltre, i terminali in ceramica offrono un supporto solido e non reattivo per i cavi elettrici.
Tuttavia, la verità è che la ceramica è un materiale fragile. Se il personale incaricato dell’installazione tenta di fissare la lampada in un supporto troppo stretto, oppure se i terminali in ceramica vengono urtati accidentalmente contro una struttura in acciaio, la lampada potrebbe rompersi. Bisogna quindi essere molto precisi durante l’installazione. Se lo si fa con attenzione, tutto funzionerà perfettamente.
Installazione corretta
Queste lampade sono adatte per ambienti in cui non si possono permettere errori. Eliminando i materiali organici e i saldanti a bassa temperatura, si garantisce che la zona di riscaldamento rimanga chimicamente stabile.
Qualche consiglio per l’installazione: assicuratevi che la tensione fornita sia costante. Picchi di tensione elevata possono causare danni al sigillo tra il quarzo e la ceramica. Regolate bene la tensione e procedete con cautela durante l’installazione: così le lampade saranno in grado di mantenere i componenti ottici privi di particelle per migliaia di cicli.