क्लास 100 क्लीनरूम को वाकई में साफ रखना
यदि आपने कभी क्लास 100 क्लीनरूम में सामान्य इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग किया है, तो आपको इसकी परेशानियों का अंदाजा होगा। ज्यादातर लैंप, चिपकने वाले पदार्थों या सस्ती धातुओं से बने होते हैं; ऐसी धातुएँ गर्मी को सहन नहीं कर पातीं। गर्म होते ही ऐसे लैंपों से धूल निकलने लगती है।
ऐसी स्थिति में, एक ही धूल कण से पूरी वेफर बैच बर्बाद हो जाता है… यह तो वाकई एक बड़ी समस्या है।
हमने इस समस्या का समाधान खोज लिया… हमने सस्ते लैंपों के बजाय उच्च-शुद्धता वाले कृत्रिम क्वार्ट्ज एवं विशेष प्रकार के सिरेमिक कैपों का उपयोग किया।
सीलिंग ही समस्या का कारण है
ज्यादातर संदूषण सीलिंग से ही शुरू होता है… हमने पारंपरिक धातुओं के बजाय उच्च-घनत्व वाले सिरेमिक कैपों का उपयोग किया। सबसे अच्छी बात यह है कि ऐसे कैपों से गर्म होने पर कोई धुआँ या कण नहीं निकलते।
हमने क्वार्ट्ज ट्यूबों को भी साफ किया, ताकि उनमें मौजूद धातुयुक्त अशुद्धियाँ दूर हो जाएँ… इससे सस्ते लैंपों में देखी जाने वाली समस्याएँ भी दूर हो जाती हैं।
सही सामग्री का चयन
हमने फ्यूज्ड क्वार्ट्ज का ही उपयोग किया… क्योंकि ऐसी सामग्री तापमान में वृद्धि के दौरान भी टूटती नहीं है… ऐसी सामग्री तेज ऊर्जा के प्रभाव को भी सहन कर सकती है। सिरेमिक कैप, विद्युत तारों के लिए एक मजबूत एवं गैर-प्रतिक्रियाशील स्थान प्रदान करते हैं।
लेकिन सच्चाई यह है कि सिरेमिक बहुत ही भंगुर होता है… यदि इंस्टॉलेशन टीम लैंप को किसी टाइट जगह पर लगाने की कोशिश करे, या सिरेमिक कैप को स्टील फ्रेम से टकरा दे, तो वह टूट जाएगा… इसलिए इनकी स्थापना करते समय सावधान रहना आवश्यक है।
इन लैंपों का उपयोग
ये लैंप “शून्य-त्रुटि” वाले वातावरणों के लिए ही उपयुक्त हैं… कार्बनिक बाइंडरों एवं कम-गलनांक वाले धातुओं के उपयोग से गर्मी पैदा होने से रोका जा सकता है…
इन लैंपों को इस्तेमाल करते समय कुछ सुझाव: वोल्टेज को स्थिर रखें… अधिक वोल्टेज से क्वार्ट्ज एवं सिरेमिक के बीच की सीलिंग क्षतिग्रस्त हो सकती है… वोल्टेज को सही रखें, एवं इन लैंपों को सावधानी से ही इस्तेमाल करें… ऐसा करने से ये लैंप हजारों बार भी बिना किसी त्रुटि के काम करते रहेंगे।