Arrêtez de perdre du temps à cause d’un chauffage lent
Soyez honnêtes : la convection par air forcé est un véritable obstacle. En réalité, on chauffe simplement l’air, afin que celui-ci puisse ensuite chauffer votre substrat. Dans le domaine du traitement avancé des semi-conducteurs, ce retard est un vrai problème. Il réduit la productivité et gaspille des heures de travail.
Nous résolvons ce problème en éliminant cet intermédiaire. Nous utilisons plutôt des lampes infrarouges sans ozone.
Comment ça marche vraiment ?
Au lieu d’attendre que l’air se réchauffe naturellement, les lampes infrarouges utilisent des ondes électromagnétiques. La chaleur atteint directement votre cible.
Vous pourriez vous inquiéter de la contamination. C’est pourquoi nous utilisons des enveloppes en quartz sans ozone. Cela permet de maintenir un spectre propre, évitant ainsi que l’O3 ne détériore votre salle propres ou vos wafer.
Le résultat ? Le temps de chauffage est presque instantané. On parle de cycles de chauffage qui passent de minutes à secondes.
Plus de chaleur, moins d’espace
Ces lampes produisent beaucoup de chaleur en occupant très peu d’espace. Si vous travaillez dans des chambres étroites où un ventilateur volumineux ou des conduit complexes ne peuvent pas être installés, c’est la solution idéale.
De plus, comme la chaleur est directionnelle, vous pouvez contrôler précisément où elle va. Vous n’avez pas besoin de chauffer toute la machine, ce qui évite que le châssis ne surchauffe. C’est précis.
Un point à surveiller
Il y a tout de même un inconvénient : le rayonnement direct est assez intense.
Vous gagnerez beaucoup de temps en termes de chauffage, mais comme la densité d’énergie est très élevée, vous devez bien régler le système de refroidissement pendant les périodes de repos. Sinon, vous risquez que le substrat surchauffe. C’est un compromis, mais gérable.
Pourquoi changer ?
La plupart des entreprises qui travaillent sur des produits de haute précision ont déjà fait ce changement.
C’est un remplacement simple pour les systèmes de chauffage existants. Vous cessez de lutter contre des courants d’air imprévisibles et commencez à gérer des photons.
En fin de compte, cela signifie que davantage de wafer peuvent être traités par shift. C’est aussi simple que ça.