Deje de perder tiempo en tiempos de calentamiento lentos
Seamos honestos: la convección por aire forzado es un obstáculo. Básicamente, se está calentando el aire, solo para que este pueda calentar posteriormente el sustrato. En el mundo del procesamiento avanzado de semiconductores, ese retraso es un verdadero problema. Reduce la productividad y desperdicia horas de tiempo en la producción.
Lo resolvemos eliminando al intermediario. Pasamos a utilizar lámparas infrarrojas sin ozono.
Cómo funciona realmente
En lugar de esperar a que el viento caliente el sustrato, las lámparas infrarrojas utilizan ondas electromagnéticas. El calor llega directamente al objetivo.
Puede preocuparse por la contaminación. Por eso utilizamos envolturas de cuarzo sin ozono. Esto mantiene el espectro de energía limpio, evitando que el ozono dañe la sala limpia o los waferes.
El resultado? El tiempo de calentamiento es casi instantáneo. Se trata de ciclos de calentamiento que pasan de minutos a segundos.
Más calor, menos espacio
Estas lámparas generan mucha energía en un espacio muy reducido. Si trabaja en cámaras donde no cabe un soplador grande o sistemas complejos de ductos, esta es la solución.
Además, como el calor es direccional, puede decidir exactamente dónde irá la energía. No hay riesgo de que todo el equipo se sobrecaliente. Es preciso.
Un punto a tener en cuenta
La desventaja es que la radiación directa es intensa. Aunque ahorrará mucho tiempo en el proceso de calentamiento, debido a la alta densidad de energía, debe asegurarse de que el sistema de refrigeración funcione bien durante los ciclos de enfriamiento. Si el sistema de refrigeración no funciona correctamente, existe el riesgo de que el sustrato se sobrecaliente. Es un compromiso, pero manejable.
¿Por qué cambiar?
La mayoría de las empresas que trabajan con alto volumen y alta precisión ya han hecho este cambio. Es un reemplazo sencillo de los sistemas de calentamiento tradicionales. Deja de luchar contra corrientes de aire impredecibles y comienza a manejar fotones.
Al final, eso significa que más waferes pueden procesarse cada turno. Simplemente eso.