Přestaňte zahřívat prázdnotu: Proč je vakuumové IR řešením
Pokud pracujete v oblasti hlubokého zpracování polovodičů, pravděpodobně jste strávili spoustu času sledováním časovače a čekáním, než komora dosáhne správné teploty. Většina lidí přistupuje k použití cirkulace horkého vzduchu – protože je to standard. Ale problém je v tom, že nucená konvekce je pomalá. V podstatě zahříváte vzduch a poté čekáte, dokud ten vzduch nezahřeje váš čip.
Ve vakuu je to prostě plýtvání časem.
Proto používáme vakuumové IR lampy. Místo toho, abychom manipulovali s prostředím, tyto lampy využívají elektromagnetické záření k přímému ohřevu povrchu čipu. Je to efektivní řešení.
Skutečné náklady spojené s čekáním
Zamyslete se na chvíli nad fyzikou. U horkého vzduchu musíte čekat, než se komora nasycí. Je to pomalý proces. Ale u IR? Přenos energie probíhá téměř okamžitě.
Zní to jako malý detail, ale když provozujete velkovýrobní linky, pár minut ušetřených za každý cyklus se rychle sčítá. Mluvíme o tisících dalších čipech zpracovaných každý měsíc. To je obrovský úspěch pro vaše zisky.
Udržení čistoty ve vakuu
Provoz vakuu přidává další složitosti. Nemůžete prostě použít ventilátor k chlazení pouzdra lampy.
Abychom to vyřešili, používáme specializované kvartové obaly a materiály, které nevyzařují žádné plyny. Díky tomu zůstávají vaše čipy čisté a bez kontaminace. Navíc máte velmi vysokou hustotu tepla v malém prostoru. Můžete tak ohřívat konkrétní oblasti na substrátu, aniž byste museli zahřívat celou komoru.
Nevýhody
Není to však samozřejmě magie. Vysokointenzivní IR záření je agresivní. Vyvíjí velký tlak na zdroj napájení a vyžaduje velmi přesnou kontrolu pomocí PID systému.
Pokud jsou vaše senzory i jen trochu mimo, můžete překročit požadovanou teplotu a poškodit čip, aniž byste si vůbec uvědomili, co se stalo. Potřebujete zpětnovazební smyčku, která bude reagovat stejně rychle jako samotné teplo.
Ale jakmile to nastavíte správně, přestanete plýtvat energií ve vzduchu v komoře a začnete ji využívat tam, kam patří – na samotný čip.