في غرفة التصنيع، يمكن لوجود بقعة واحدة على الرقاقة أن يدمر كامل الدفعة المنتجة. تعتبر الطرق التقليدية للتجفيف خطيرة للغاية؛ فهناك ضغوط حرارية من جهة، وتلوث بالجسيمات من جهة أخرى. وفي عملية الطباعة بالليثوغرافيا، لا يمكن التسامح مع أي أخطاء؛ فأي انحراف بمقدار 0.5 درجة مئوية أثناء عملية معالجة الرقاقة قد يؤدي إلى فشل العملية بأكملها. لذلك، قمنا بتطوير جهاز إصدار الأشعة تحت الحمراء من نوع الهالوجين لتجفيف الرقاقات، وذلك للقضاء على هذه المشاكل.
العوامل المهمة من الناحية التقنية
يوجد داخل الغلاف الكوارتزي مصباح هالوجيني ذو موجات قصيرة، يصدر أشعة تحت حمراء بسرعة فائقة. يسمح هذا الجهاز بالحفاظ على استقرار درجة الحرارة في المنطقة المستهدفة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، كما أن نظام التحكم المغلق يضمن تكرار نفس النتائج في كل مرة. يعمل الجهاز في غرف نظيفة من الفئة 1–100، ولا يوجد أي جسيمات في الغرفة، كما أن الحرارة المنتجة لا تؤثر على خصائص الرقاقة.
لماذا يعمل هذا الجهاز في الأماكن المناسبة
بعد تنظيف الرقاقة، يجب تجفيفها بسرعة دون التأثير على سلامة سطحها. يقوم جهاز الأشعة تحت الحمراء بتسخين المنطقة المستهدفة فقط، مما يجعل الغرفة باردة ولا يؤثر ذلك على الأجهزة المحيطة بها.
يوفر هذا الجهاز وقتًا أقل لعملية التجفيف، واستهلاك طاقة أقل، بالإضافة إلى تجفيف مستمر يحافظ على خصائص الرقاقة أثناء عمليات المعالجة. كما أن درجة الحرارة المستخدمة في عملية التجفيف تكون دقيقة، مما يؤدي إلى نتائج أفضل في كل مرة.
الأمور التي يجب معرفتها
يتطلب تركيب الجهاز توافقًا دقيقًا في الإضاءة، بالإضافة إلى نظام تحكم في الطاقة للحفاظ على استقرار الطيف الضوئي. أي اختلاف في الانعكاسات أو تغير في الجهد قد يؤدي إلى تغيير في درجة الحرارة المطلوبة. يعمل الجهاز بشدة عالية، لذا يجب الاهتمام بالعزل الحراري والأنظمة الخاصة بالتحكم في الجهاز.
يجب استبدال المصباح كل 5,000 ساعة عمل، ويجب القيام بذلك خلال فترات الصيانة المخطط لها. هذا يساعد في الحفاظ على كفاءة الجهاز وضمان عمله بشكل صحيح.